螺桿真空泵工作原理

工作原理

干式螺桿真空泵利用高速旋轉的一對螺桿，將吸入的氣體排出泵外，從而形成真空。螺桿端面型線是由近似阿基米德曲線、擺線、和圓弧曲線構成，螺桿與螺桿之間，

螺桿與泵腔間始終保持設定的間隙，避免任何金屬與金屬間的接觸，電機連接方式是直連或皮帶連接。為了便于安裝與拆卸，齒輪，聯軸器均采用脹緊套連接.

結構螺桿轉子螺桿轉子是螺桿真空泵的核心部件，設計難度大，材質要求高，加工設備要精密。本公司螺桿轉子材質為合金球磨鑄鐵，加工設備為專用的高精度螺桿轉子數控銑。

同步齒輪

同步齒輪是干式螺桿真空泵非常重要的部件，齒輪表面經過嚴格熱處理，并用高精度的磨齒機磨光以減少運行時的噪聲。

軸承

固定端（排氣口）是向心推力球軸承，伸縮端（進氣口）是高負載能力的滾珠軸承。這些軸承用于高速，高負載的運行，以保證齒輪之間以及轉子之間有精確的間隙。

結構材料

技術參數

1、上表中的油量僅供參考，具體油量以實際添加為準。請注意含氟和礦物質的油也是可用的。

2、以上所列的冷卻水量是在水溫20℃基礎上的。當使用后置冷卻裝置時冷卻水量是要變化的。

管路圖

螺桿真空泵泵體和前后蓋有水冷夾套，運行時需要通水冷卻，水冷方式有單程水冷和循環水冷兩種形式。

單程水冷

單程水冷即冷卻水保持一次性通過，不經過循環使用，冷卻水進水管路需裝有流量開關和流量計，出水管路需裝溫度傳感器或溫度開關，檢測冷卻水流量和出水溫

度。

空氣-水散熱器

這種裝置是一種風冷裝置，并且冷卻水可以循環利用，離心泵是冷卻水在真空泵到風扇散熱器之間循環。流量指示器、流量開關安裝在冷卻水供應管道處，溫度計（或

溫控開關）安裝在冷卻水的排出管路上，一間空冷卻水流量和冷卻水溫度。

                                                            圖2 

吹掃

冷卻吹掃

冷卻吹掃用于冷卻泵體內部和螺桿轉子。泵運轉時，轉子旋轉使得被抽氣體進入泵腔并被壓縮到排氣端，由于熱壓縮，氣體溫度會迅速升高，為了防止熱量積累，使

泵被損壞，這些熱量必須立即排除。

通常使用大氣中的空氣吹掃，當被抽工藝氣體不適合用空氣吹掃時，就要采用其他的冷卻介質比如氮氣，清潔的干燥空氣等。對于標準的泵，在靠近泵腔排氣側則裝

有空氣過濾器。

注意：

◆吹掃壓力：進口壓力低于150Torr 時，吹掃壓力為大氣壓，進口壓力高于150Torr時，吹掃壓力不得低于0.5 ㎏/㎝ 2g

◆氣體流量：冷卻吹掃的流量(m3/h),取決于進氣口壓力。

密封處吹掃（氣障）

根據應用需要，螺桿真空泵可以選擇密封處吹掃，如果您的系統被指定需要密封處吹掃，那是為了在泵的前端蓋和/或后端蓋與泵腔有一個壓力差，從而確保前端蓋

處的潤滑油和/或后端蓋處的潤滑脂不受流程介質污染，吹掃的氣體應當不會影響潤滑油、潤滑脂和流程介質，如：氮氣，氬氣等惰性氣體。

驅動端的前蓋和非驅動端端蓋各有兩個吹掃預留口，吹掃的氣體可以來自一個氣源。密封吹掃壓力應低于0.5kg/㎡ g（7.11psig），機械密封的漏率應低于3cc/hr（5.3

×10-6CFM）極限承受壓力為3Kg/㎝ 2g(42.7psig).如不是絕對需要，我們不建議在非驅動端處進行密封吹掃，非驅動端密封吹掃會增加氣體流量，因此會提高入口壓力，如果您需要密封吹洗請咨詢廠家以獲得進一步的幫助。

注意：

◆密封吹洗壓力：最大值0.5 ㎏/㎝ 2（7.11psig）。

◆密封吹掃氣體流量（L/min）

開機/停機（清洗）吹掃

開機/停機（清洗）吹掃是為了在泵運行前或運行后排出泵內殘留的工藝氣體或一些不兼容的物質，如水汽，大氣等。開機/停機（清洗）吹掃采用的氣體必須是不

影響被抽介質的氣體或惰性氣體，如氮氣、氬氣。當被抽氣體為腐蝕性氣體，毒性氣體或者是樹脂類的聚合物時，啟動/停止（清洗）吹掃則更為重要。

開機（清洗）吹掃：關閉進氣口主閥門，啟動泵并向泵內通入吹掃氣體20-30 分鐘，以清除泵內殘留氣體，在開機（清洗）吹掃結束時，進氣口的隔離主閥必須打

開，然后開始抽工藝氣體。

停機（清洗）吹掃：在工藝抽氣工作結束時，關閉進氣主閥，在泵連續運行情況下，向泵內通入吹掃氣體20-30 分鐘，以清除泵內的殘留工藝氣體，清洗完畢后應立

即關閉電機而此時主閥門仍然必須保持關閉狀態。

注意：

1、開機/停機（清洗）吹洗都要持續20-30 分鐘，這種清洗工作無論是在開始工藝運行以前和工藝運行結束以后都要將主閥關閉。

2、密封吹洗壓力：最大值0.5/㎝ 2g（7.11psig）。

3、流量L/min